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激光扫描共焦显微镜 OLS3000

发布时间：2012-09-13　阅读次数：

● 世界最高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米

●3D成像，高精度测量，Z轴最小读数精度0.01微米。

●实时像的获得和测量同时。

●408nm激光采用

激光扫描共焦显微镜OLS3000可进行如下检测：

1）测量

2D测量：最佳测量范围1.5mm～1 μm；
不仅是线宽度，也能进行圆的直径等几何测量。
3D测量：最佳测量范围1mm～0.5 μm；
体积、容积、表面积等3D测量；可测量透明膜厚度。
粗糙度分析：最适合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
不公是线粗糙度，面粗糙度也能检测。

2）3D形貌

能获得3D色彩等多种多样的信息
等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。

3）高分辨率观察

显示器倍率为14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高对比度的解像度。
可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉进一步提高分辨率。
实时观察。
最大观察范围是2，560X2，560μm