OLYMPUS MX51

OLYMPUS MX51 产品特性

● 紧凑的设计实现最小的占地空间
● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能
● 标配158X158mm手动移动载物台(最大可用于200mm晶圆检查)
● 选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查
● 采用防静电设计,极大方便磁头检查
● 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准

OLYMPUS MX51 技术规格

MX51 光学系统:

UIS (无限远矫正) 光学系统


MX51 显微镜镜体:

Z轴同轴粗微调调焦，载物台行程范围：32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同：15mm(配合透射光照明)
Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)
调焦机构张力可调
有调焦上限位机构

MX51 照明系统:

• BX-KMA明视场照明器


• BX-RLA2明视场/暗视场照明器
• BX-URA2万能照明器

MX51 透射照明:

明视场MX-TILLK照明灯，配备光纤照明附件
(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)