OLYMPUS AL110/MX61

OLYMPUS AL110/MX61 产品特性

● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)
● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
● 灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率
● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)

OLYMPUS AL110规格：

型号

200mm型

200/150mm 兼容型

100/125/150mm 兼容型

项目

L

LM

LB

MB

LMB

L

LM

LB

MB

LMB

L

LM

LMB

晶圆直径

200晶圆边 200mm切口

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150mm晶圆平边

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100/125/150mm 晶圆平边

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观察方式

连续和采样

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转换方式

正面宏观检测

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背面宏观检测

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2次背面检测

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表面显微观测

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适用显微镜

MX61/MX61L型

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规格(mm)

580(W)*580(D)*297(H)

490(W)*520(D)*297(H)

重量(kg)

30

32

31

31

33

30

32

31

31

33

26

28

30

能耗

电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa