OLYMPUS MX80

显微镜观察所需操作基本电动化，极大提高工作效率;观察条件可设定并存储，使每个操作者得到最适宜自己的观察条件;内置式自动聚焦和手动聚焦两种镜体可选

OLYMPUS MX61/MX61L

大型载物台搭载：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圆全面检查(MX61L);采用高NA的透射光聚光镜，图象更锐利;多种观察方式，多种照明方式，多种附件以满足不同应用要求

OLYMPUS MX51

紧凑的设计实现最小的占地空间;镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能;选配长工作距离物镜,极大方便磁头检查;采用防静电设计,极大方便磁头检查

OLYMPUS U-UVF248

实现80nm高分辨率，高对比观察;采用最适合深紫外线248nm的色差补正光学系，实现明亮、高对比深紫外线观察;系统设计自如和实现节省空间的单元式小型轻量化

OLYMPUS AL110/MX61

用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6);用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8);非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性